所谓化学机械抛光就是为了实现材料表面高平坦化，采用用抛光机、抛光液、抛光布等在一定的工艺条件下进行加工的过程。进行化学机械抛光时，对抛光液的输送是由蠕动泵完成的，抛光液具有腐蚀性，而蠕动泵具有防腐的作用。

在化学机械抛光过程中选用蠕动泵非常有优势，因为它泵送液体和泵体之间是严格分离的，泵管和泵头还可以随时更换，不会影响到工作。

由于蠕动泵输送的抛光液始终在泵管内流动，不会接触到泵体，更不会和机械传动机构接触，因此在化学机械抛光过程中有效避免了金属污染，避免了抛光液的腐蚀性损坏泵体机械元件的可能性，具有无污染的优点。

由于蠕动泵具有自吸能力，工作过程中能产生足够的真空吸力将抛光液从液池中吸到泵管中，避免了前期的灌泵和吸入管冲水的问题，因此不需要将泵置于液体源液面以下，使泵的安装位置变得更加灵活，可以和抛光机更好地融为一体。另外还能避免无谓的停机，因为蠕动泵中充水不会流失。

蠕动泵的泵头安装时只需要用手旋螺钉，不需要其他用具，几分钟就可安装好，除了安装泵头，泵管的安装、拆卸、锁紧都可以根据要求随时进行，不需任何工具，因此具备操作简单的优点。

除了操作简单，控制也十分简单，用拨号盘或者小键盘即可对蠕动泵进行转速控制，菜单直观易懂，没有编程控制的复杂性。为了实现抛光液的多路供给，还可以根据不同的流量要求，在同一个蠕动泵上连接2-3个泵头，降低企业成本，提高工作效率，创造了高经济效益。